ການເຄືອບສູນຍາກາດແມ່ນຂະບວນການທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດວັດສະດຸທີ່ມີຮູບເງົາທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ມັນຜະລິດຮູບເງົາບາງໆໂດຍວັດສະດຸອິນຊີທີ່ລະເຫີຍຫຼືອະນົງຄະທາດໃນອະນົງຄະທາດຫຼືສະຫນາມກິລາໃສ່ພື້ນທີ່ຂອງສະພາບອາກາດພາຍໃຕ້ສະພາບການສູນເສຍ. ບົດຂຽນນີ້ຈະແນະນໍາການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດການເຄືອບສູນຍາກາດໂດຍລະອຽດ.
ຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດປະກອບມີຂັ້ນຕອນຕໍ່ໄປນີ້:
1. ເລືອກເຄື່ອງຍ່ອຍທີ່ຖືກຕ້ອງແລະວັດສະດຸ
ການເລືອກອະນຸພາກແລະວັດສະດຸທີ່ຖືກຕ້ອງແມ່ນບາດກ້າວທໍາອິດໃນການເຄືອບສູນຍາກາດ. ຊັ້ນໃຕ້ດິນສາມາດເປັນແກ້ວ, ພາດສະຕິກ, ໂລຫະຫຼື nanomaterials ອື່ນໆ. ວັດສະດຸສາມາດເປັນອິນຊີຫລືອະນົງຄະທາດເຊັ່ນໂລຫະ, semiconductors, oxides ຫຼື nitrides.
2. ໂຫລດລະບົບເຄືອບສູນຍາກາດ
ຂັ້ນຕອນທີສອງແມ່ນການໂຫຼດຊັ້ນໃຕ້ດິນແລະວັດສະດຸເຂົ້າໃນລະບົບເຄືອບສູນຍາກາດ. ລະບົບການເຄືອບສູນຍາກາດປະກອບມີຫ້ອງດູດຝຸ່ນ, ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີທາດເຫຼັກ, ເປັນເຄື່ອງປະດັບແລະລະບົບຄວບຄຸມ. ຫ້ອງດູດນ້ໍາແມ່ນບ່ອນທີ່ໃຊ້ໃນການຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີສູນຍາກາດ, ເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າທີ່ໃຊ້ໃນການກວດສອບແລະປັບລະບົບສະພາບແວດລ້ອມແລະຄວາມໄວດ້ານວັດຖຸຫລືຄວາມໄວ.
.. ສູນຍາກາດ
ຫຼັງຈາກທີ່ໂຫລດອຸປະກອນການແລະຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ຫ້ອງດູດຝຸ່ນຄວນໄດ້ຮັບການອົບພະຍົບ. ການດູດຊືມແມ່ນບາດກ້າວທີ່ສໍາຄັນຫຼາຍ, ເພາະວ່າການຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຕໍ່າແລະຄວາມບໍລິສຸດສູງສາມາດຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງເຍື່ອ. ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດແມ່ນຕໍ່າກວ່າ 10 ^ -6 mbar ເພື່ອຍົກເລີກໂມເລກຸນແກັດແລະມົນລະພິດອື່ນໆ.
4. ການລະເຫີຍວັດສະດຸຫຼືການກະແຈກກະຈາຍ
ໃນເວລາທີ່ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດບັນລຸຄວາມກົດດັນທີ່ຕ້ອງການ, ເອກະສານດັ່ງກ່າວສາມາດລະເຫີຍຫຼືກະຕຸ້ນໃສ່ຊັ້ນໃຕ້ດິນ. ມີສອງວິທີການການລະເຫີຍດ້ານວັດຖຸ: ການລະເຫີຍຄວາມຮ້ອນແລະເຄື່ອງຫມາຍຄວາມຮ້ອນແລະເຄື່ອງຫມາຍສາຍໄຟຟ້າ. Sputtering ຍັງມີສອງວິທີການ: magnetron sputtering ແລະ AC sputtering. ວິທີການໃດທີ່ຖືກນໍາໃຊ້, ອັດຕາການລະເຫີຍວັດສະດຸຫຼືອັດຕາການສະກົດຈິດແລະຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມ.
5. ເຮັດຮູບເງົາ Multilayer
ເມື່ອທໍ່ນ້ໍາດຽວໄດ້ຖືກຜະລິດມາແລ້ວ, ຊັ້ນຫຼາຍສາມາດຖືກມັດເຂົ້າກັນເພື່ອປະກອບເປັນຕົວປະສົມ. ວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນແລະຂະບວນການເງິນຝາກສາມາດນໍາໃຊ້ໄດ້, ເຊັ່ນການຝາກເງິນແທນທີ່ຈະເປັນທາງເລືອກ, ການຮ່ວມມືທາງດ້ານວັດຖຸແລະການຝາກເງິນທີ່ມີຫລາຍດ້ານ.
.. ການທົດສອບຄຸນນະພາບຂອງເຍື່ອ
ຂັ້ນຕອນສຸດທ້າຍແມ່ນການທົດສອບຄຸນນະພາບຂອງເຍື່ອ. ການທົດສອບສາມາດປະກອບມີຄວາມຫນາ, ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບ, ຄຸນສົມບັດ optical ແລະຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າ, ໃນບັນດາອື່ນໆ. ກໍານົດວ່າອຸປະກອນການເຍື່ອໄດ້ຕອບສະຫນອງຄວາມຮຽກຮ້ອງຕ້ອງການຕາມຜົນການທົດສອບ.
ໃນໄລຍະສັ້ນ, ເຕັກໂນໂລຍີເຄືອບສູນຍາກາດແມ່ນວິທີການທີ່ຈະບັນລຸຮູບເງົາບາງໆທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງເລືອກຊັ້ນວາງທີ່ເຫມາະສົມແລະວັດສະດຸ, ພາລະລະບົບເຄືອບສູນຍາກາດ, ດູດ, ວັດສະດຸ, ເຮັດໃຫ້ມີຮູບເງົາຫຼາຍຊັ້ນແລະທົດສອບຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ. ເຕັກໂນໂລຍີເຄືອບສູນຍາກາດໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນເອເລັກໂຕຣນິກ, ແບບ optics, ທາງດ້ານການແພດແລະພະລັງງານ.