ອຸປະກອນເຄືອບສານເຄມີພາດສະຕິກນອກຈາກນັ້ນ, ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກກັນວ່າເປັນອຸປະກອນວັດຖຸດິບຫຼືເຄື່ອງໃຊ້ຂອງ Vapor (PVD) (PVD). ຂະບວນການນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ວັດສະດຸພາດສະຕິກຊ່ວຍໃຫ້ມີຄຸນສົມບັດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການສະທ້ອນທີ່ດີຂື້ນ, ຄຸນສົມບັດອຸປະສັກ, ແລະຮູບຊົງໂລຫະ. ອຸປະກອນປົກກະຕິປະກອບດ້ວຍສ່ວນປະກອບດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
ສະພາເຄື່ອງດູດ: ຫົວໃຈຂອງອຸປະກອນແມ່ນສະພາສູນຍາກາດ, ບ່ອນທີ່ຂະບວນການເຄືອບເກີດຂື້ນ. ຫ້ອງສະພາແມ່ນ Airtight ແລະອອກແບບເພື່ອສ້າງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມກົດດັນຕ່ໍາໂດຍການກໍາຈັດອາກາດແລະສິ່ງປົນເປື້ອນອື່ນໆ.
ລະບົບການຈັດການແບບແຜນ: ລະບົບນີ້ແມ່ນຮັບຜິດຊອບໃນການຖືແລະຍ້າຍຊັ້ນໃຕ້ດິນພາຍໃນຫ້ອງດູດນ້ໍາໃນລະຫວ່າງການເຄືອບ. ມັນຮັບປະກັນວ່າທຸກພາກສ່ວນຂອງຊັ້ນຍ່ອຍໄດ້ຮັບການເຄືອບແມ້ກະທັ້ງແລະເປັນເອກະພາບ.
ແຫຼ່ງ Evaporation ຄວາມຮ້ອນ: ແຫຼ່ງການລະເຫີຍຄວາມຮ້ອນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເຮັດຄວາມຮ້ອນວັດສະດຸເຄືອບໂລຫະຈົນກ່ວາມັນ vaporizes ແລະກາຍເປັນອາຍນ້ໍາບາງໆ. ໂລຫະທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປທີ່ສຸດທີ່ໃຊ້ສໍາລັບການເຄືອບສູນຍາກາດພາດສະຕິກແມ່ນອາລູມິນຽມ, ແຕ່ໂລຫະອື່ນໆທີ່ຄ້າຍຄືເງິນ, ທອງແດງ, ສາມາດໃຊ້ໄດ້.
ການສະຫນອງພະລັງງານ: ການສະຫນອງພະລັງງານໃຫ້ພະລັງງານໄຟຟ້າທີ່ຕ້ອງການເພື່ອເຮັດຄວາມຮ້ອນແຫຼ່ງການລະເຫີຍ. ມັນເປັນສິ່ງສໍາຄັນທີ່ສຸດສໍາລັບການຄວບຄຸມອັດຕາການຝາກເງິນແລະຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນໂລຫະ.
ລະບົບສູບນ້ໍາຢາສູບ: ລະບົບດູດນ້ໍາທີ່ມີຄວາມຮັບຜິດຊອບໃນການສ້າງແລະຮັກສາສູນຍາກາດພາຍໃນສະພາ. ມັນໄດ້ຍົກຍ້າຍອອກອາກາດແລະທາດອາຍຜິດອື່ນໆເພື່ອບັນລຸສະພາບແວດລ້ອມຄວາມກົດດັນທີ່ມີຄວາມກົດດັນທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບຂະບວນການເຄືອບ.
ລະບົບຄວບຄຸມອາຍແກັສ: ລະບົບນີ້ຄວບຄຸມການແນະນໍາກ່ຽວກັບສະພາເຄື່ອງດູດເຂົ້າໃນຫ້ອງດູດນ້ໍາຖ້າມີການລະບາຍຄວາມຜິດພາດຫຼື ion, ແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍຄຸນລັກສະນະການເຄືອບ.
ລະບົບຄວາມເຢັນ: ດັ່ງທີ່ຊັ້ນໃຕ້ດິນເຄືອບດ້ວຍອາຍໂລຫະ, ມັນອາດຈະຮ້ອນຂື້ນ. ລະບົບຄວາມເຢັນຊ່ວຍໃນການຮັກສາຊັ້ນໃຕ້ດິນໃນອຸນຫະພູມທີ່ຕ້ອງການເພື່ອຫລີກລ້ຽງການຜິດປົກກະຕິຫຼືຄວາມເສຍຫາຍ.
ການຕິດຕາມກວດກາແລະຄວບຄຸມຄວາມຫນາ: ເພື່ອບັນລຸຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບທີ່ຕ້ອງການ, ຄວາມຫນາຕິດຕໍ່ແລະຄວບຄຸມອຸປະກອນຕ່າງໆ, ເຊັ່ນ Quartz Crystal Monitors, ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອວັດແທກອັດຕາການຝາກເງິນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.
ໄດ້
ເຄືອບສູນຍາກາດພາດສະຕິກຂະບວນການກ່ຽວຂ້ອງກັບການວາງຊັ້ນໃຕ້ດິນຢູ່ໃນສະຕິກວັດສະຕິກ, ຍົກຍ້າຍອອກຈາກອາກາດທີ່ມີຄວາມກົດດັນຕ່ໍາ, ແລະອະນຸຍາດໃຫ້ໃຊ້ vaporizes, ແລະອະນຸຍາດໃຫ້ໃຊ້ໂລຫະປະຕິບັດກັບອາການໂລຫະທີ່ຈະໃສ່ແລະຝາກໃສ່ພື້ນທີ່ພາດສະຕິກ. ຂະບວນການດັ່ງກ່າວສາມາດຕິດຕາມໄດ້ດີເພື່ອບັນລຸຄວາມຫນາແລະຄຸນສົມບັດທີ່ແຕກຕ່າງກັນໂດຍອີງໃສ່ຂໍ້ກໍານົດສະເພາະ. ຫຼັງຈາກເຄືອບ, ຍ່ອຍແຜ່ນສຕິກໄດ້ຮັບຮູບລັກສະນະທີ່ຕ້ອງການແລະອາດຈະມີຫນ້າທີ່ປັບປຸງເຊັ່ນ: ເພີ່ມຂື້ນຫຼືຄຸນລັກສະນະດ້ານວັດຖຸທີ່ເພີ່ມຂື້ນ.